Растровый электронный микроскоп (РЭМ) — это специальный прибор, который используется для получения изображения поверхности с увеличением до сотен тысяч крат. В отличие от оптического микроскопа, где объект освещается светом, в РЭМ используется сфокусированный пучок электронов, который построчно «сканирует» образец. В результате взаимодействия электронов с веществом формируется изображение, позволяющее разглядеть нанометровые детали. РЭМ широко используются при разработке топологии микросхем.
Как пояснили «Телеспутнику» в «Нанотронике», на текущий момент в компании разработан и протестирован экспериментальный образец. Серийный промышленный выпуск установки планируется начать в следующем году. Предполагается, что целевое разрешение микроскопа будет 3 нанометра.
«На текущий момент уже получено изображение с микроскопа, мы используем его для отработки наших технических решений, в том числе как своеобразный экспериментальный стенд», — рассказала «Телеспутнику» генеральный директор АО «Нанотроника» Юлия Сухорослова.
Предполагается, что сфера применения установки не будет ограничиваться микроэлектроникой. Рабочая аналитическая машина сможет применяться в медицине, фармакологии, биотехнологиях, материаловедении и так далее.
Ранее «Телеспутник» сообщал, что на форуме «Микроэлектроника 2026» обсудят развитие рынка систем технического зрения.
Фото: «Телеспутник»
_69bd44679170c.jpg)
