_68668a4f09676.jpg)
Как сообщает CNews, министерство отменило тендер на освоение в России опытно-промышленного производства слитков фторида кальция монокристаллического для оптических элементов ультрафиолетовой фотолитографии за 1,6 млрд руб. Тендер был размещен 25 ноября 2025 года и отменен 1 декабря. Причина отмены в документах не указана, решение о ней принял директор департамента металлургии и материалов Минпромторга Иван Марков.
Слитки фторида кальция монокристаллического применяются при изготовлении оптических элементов эксимерных лазеров с длиной волны 193 нм, входящих в состав высокоразрешающих фотолитографических установок, обеспечивающих производство изделий электронной компонентной базы (ЭКБ) с топологической нормой 90 нм и ниже. Сейчас поставки этого материала в Россию недоступны. Его производством занимаются Nikon (Япония), Corning (США) и Hellma (Германия). А те слитки, которые производятся в нашей стране, значительно ниже современного мирового уровня. По этой причине отсутствует возможность разработки и производства передовых отечественных фотолитографических установок, отмечается в техзадании.
Также Министерство отменило тендер на разработку технологии получения и постановки на производство монокристаллов тербий скандий лютеций алюминиевого граната за 400 млн рублей. Он нужен для изготовления поляризационного оптического изолятора (ячейки Фарадея), элемента лазерных систем, пропускающего свет только в одном направлении.
Потребителями его являются изготовители лазерных систем и ячеек Фарадея: АО «НИИ «Полюс им. М. Ф. Стельмаха», ООО «АВЕСТА», ООО «ВПГ ЛАЗЕРУАН». Внедрение разработанной технологии и организация производства такого материала позволит обеспечить создание отечественных лазерных систем современного уровня.
Представители Минпромторга не ответили на запрос издания о причинах отмены тендеров и о том, будут ли они запущены снова.
Эксперты полагают, что тендер мог быть отменен из-за отсутствия финансирования, либо с принятием решения о приобретении готовой технологии за рубежом через третьи страны или создания совместного предприятия.
Ранее «Телеспутник» писал, что представитель «Микрона» рассказал о разработке фотолитографов с нормами 350-90 нм. Фотолитографическое оборудование с нормами 350 нм разрабатывает Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) вместе с белорусским заводом «Планар», а российский производитель микроэлектроники «Микрон» (входит в ГК «Элемент») выступает в этом соглашении в качестве технологического партнера.
