В техпроцессах «Микрона» используется 43 сверхчистых химических материала и 39 специальных электронных газов и смесей, ведётся активная работа по замене всех компонентов отечественными аналогами для обеспечения технологического суверенитета.
«Выпуск отечественных материалов для микроэлектроники открывает путь к прекращению монополии иностранных игроков. Работы по импортозамещению важно вести в кооперации с научными учреждениями, тогда исследования сразу переходят в производство. Отечественный фоторезист для 90 нм — это важная веха в импортозамещении материалов и развитии производства микроэлектроники. Микрон ведёт беспрецедентную в мировой практике замену материалов на действующем производстве. Приглашаем к сотрудничеству всех заинтересованных производителей», — приводит пресс-служба слова генерального директора АО «Микрон» Гульнары Хасьяновой.
В программе «Микрона» по импортозамещению материалов участвуют в настоящее время более 16 российских производителей и научных институтов. Новый отечественный фоторезист выпускается на предприятии Приволжского федерального округа, крупнейшего в стране центра химической промышленности, обеспечивающего более 40 % от общего объема производства российских химических материалов.
Фоторезист — светочувствительный полимерный материал для фотолитографии, который используется в ключевом процессе изготовления интегральных микросхем с целью получить на поверхности обрабатываемого материала «окна» для доступа травящих веществ. Строгое соответствие материала необходимым техническим требованиям и стандартам микроэлектронного производства обеспечивает точное формирование элементов на пластине.
Отечественная электронная компонентная база (ЭКБ) — основа технологической независимости и безопасности страны, так как микроэлектроника одна из критических и сквозных технологий. Развитие устройств и систем на основе отечественной ЭКБ является одним из ключевых направлений стратегии развития радиоэлектронной промышленности. Согласно Концепции технологического развития, Россия должна создать собственную базу критических и сквозных технологий и доля отечественных чипов, высокоточных станков, продукции робототехники, фармацевтики и медицинского оборудования, телекоммуникационной техники, программного обеспечения и авиакосмической техники в общем объёме потребления должна составить не менее 75 % в 2030 году.
20 - 21 февраля 2025 года «Микрон» представил работу по импортозамещению высокочистых химических материалов и электронных газов, применяемых в производстве, на III Форуме будущих технологий «Новые материалы и химия», который проходил в Москве.
Ранее генеральный директор «Микрона» Гульнара Хасьянова на полях форума «Микроэлектроника» рассказала в интервью «Телеспутнику», что структура международной кооперации в микроэлектронике претерпела изменения и в последнее время виден интерес к полупроводниковой отрасли со стороны стран, которые никогда не занимались этой сферой.
