img
img25 сентября 2026 в 15:42

ASM представила XP8 Vertos Flowable Carbon: текучая углеродная плёнка, которая упростит производство полупроводников

Нидерландская компания ASM представила XP8 Vertos Flowable Carbon — первую на рынке текучую углеродную плёнку для плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы. Инновация объединяет в одном процессе заполнение зазоров и планаризацию, что позволяет снизить сложность, повысить контроль и расширить возможности для 3D-масштабирования.

Нидерландская компания ASM представила XP8 Vertos Flowable Carbon — первую на рынке текучую углеродную плёнку для плазменно-усиленного химического осаждения из газовой фазы. Инновация объединяет в одном процессе заполнение зазоров и планаризацию, что позволяет снизить сложность, повысить контроль и расширить возможности для 3D-масштабирования.

Как пишет Globe News Wire, рынок полупроводников достигнет в 2026 году 1,5 трлн долларов. Бум искусственного интеллекта и растущий спрос на вычисления заставляют производителей чипов масштабировать устройства во всё более сложные 3D-архитектуры, что формирует потребность в новых материалах и технологических процессах.

Более 20 лет производители чипов полагались на обычные углеродные плёнки, не рассчитанные на требования современных 3D-архитектур устройств. Такие плёнки повторяют форму элементов, на которые наносятся, поэтому при добавлении последующих слоёв неровности поверхности могут сохраняться, и производителям требуются дополнительные операции для их устранения. Об этом пишет Globe News Wire.

Плёнка Flowable Carbon сокращает количество технологических циклов, необходимых для контроля топографии. Она проникает в элементы сложной геометрии чипа и заполняет их снизу вверх, а материал самовыравнивается, образуя плоскую и однородную поверхность, готовую к следующему этапу формирования рисунка. Кроме того, она позволяет заполнять сложные структуры с высоким соотношением сторон без пустот и швов, отличается повышенной термической стабильностью и способностью к селективному осаждению на определённых участках поверхности.

Одно из главных преимуществ технологии — упрощение обработки. Поскольку углеродный материал самовыравнивается в процессе осаждения, производители могут отказаться от последующих операций химико-механической планаризации или обратного травления, которые обычно требуются для получения поверхности с заданными характеристиками.

Ранее «Телеспутник» сообщал, что на фоне спроса на чипы поставщики материалов для полупроводников увеличивают инвестиции.

Фото: 123rf.com.

Читайте также

Похожие материалы

Искусственный интеллект спасает петербуржцев от рутины и нарушителей

29.05.2026

«Телеспутник-Экспресс»: в космосе развалился многотонный спутник

25.10.2024

Спутники будут в безопасности: в России изобрели новый метод мониторинга

04.07.2025

Технологические долины Петербурга: как город строит экосистему от науки до серийного производства

30.06.2026

T2 запустил работу БС в строящейся станции петербургского метрополитена

11.12.2025

Популярные статьи

Подписка на рассылку

Подпишитесь на рассылку, чтобы одним из первых быть в курсе новых событий

Выбор редакции